NH3氨氣烘箱 氨氣真空系統(tǒng) 氨氣圖形反轉爐通過其化學性質，在光刻膠中發(fā)揮著調(diào)整極性、優(yōu)化圖形轉移效果的重要作用，是微細制造領域的關鍵材料之一。

潔凈無氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱應用場景 半導體行業(yè)?：晶圓脫泡、LCP纖維烘烤、光刻膠固化（如PI/BCB/PBO涂層）/晶圓退火、電子元器件制造（前烘、堅膜、墨點烘烤、備件烘烤等），減少微塵污染90% ?新能源領域?、醫(yī)療與科研?

氮氣潔凈烘箱 光刻膠無塵烘箱 百級烘箱 適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研.

氮氣烘箱，掩膜板烘箱在掩膜版的生產(chǎn)制造過程中，掩膜版基板在光阻涂布后會有一個烘烤的環(huán)節(jié)，又稱為前烘。

外延片烘箱，氮氣潔凈烘箱延片將所述外延片放入烘箱中,在120℃～140℃的溫度下,將所述外延片烘烤10～30分鐘

墨點烘箱，墨點氮氣烘箱是半導體行業(yè)，芯片加工工藝流程中打墨點工藝后，將硅片放入烘箱進行墨點烘干專用設備。

充氮烤箱，銀膠固化氮氣烘箱用于IC芯片制造封裝過程的FOL– Epoxy Cure 銀漿固化。 銀漿固化：175°C，1個小時；N2環(huán)境，防止氧化：