HMDS烘箱結(jié)構(gòu)，HMDS涂布機(jī)原理

HMDS烘箱結(jié)構(gòu)，HMDS涂布機(jī)原理

HMDS，即六甲基二硅胺，是半導(dǎo)體光刻工藝中一種常見(jiàn)的耗材。HMDS是一種易揮發(fā)的化學(xué)品，傳送到工藝腔的HMDS是以氣態(tài)形式存在的，其均勻附著在晶圓表面，形成HMDS膜層。

HMDS烘箱結(jié)構(gòu)，HMDS涂布機(jī)原理

現(xiàn)有技術(shù)中，涂布過(guò)程一般先在氮?dú)獾谋Ｗo(hù)下對(duì)晶圓進(jìn)行加熱，同時(shí)通入HMDS進(jìn)行涂布，但由于前期氮?dú)獾耐ㄈ耄瑸榱吮ＷCHMDS的濃度及擴(kuò)散效果，必須增加HMDS的通入量，才能使其濃度達(dá)到一定范圍，這樣勢(shì)必造成HMDS的浪費(fèi)，且HMDS為有害氣體，過(guò)高濃度的排放會(huì)對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重破壞。

HMDS烘箱，HMDS涂布機(jī)技術(shù)參數(shù)