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  HMDS鍍膜機(jī)
             
 
  
       
   HMDS鍍膜機(jī)
      
      HMDS鍍膜機(jī)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
      
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