HMDS鍍膜機原理和各部件分析

 

    HMDS鍍膜機是目前制作真空條件應用為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成，排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。本公司專業從事HMDS鍍膜機的研發與生產擁有經驗豐富的技術團隊及優質的售后服務隊伍為您解決設備在使用過程中遇到的任何問題。下面，詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理。

 

    一、真空主體——真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼" 不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實等，真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。

 

    二、輔助抽氣系統：排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，HMDS鍍膜機主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，以這樣的方式完成抽氣動作。

 

    機械泵：也叫前級泵，HMDS鍍膜機械泵是應用廣泛的一種低真空泵，HMDS鍍膜機是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。