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      反轉真空烘箱  圖像反轉氨氣爐

      反轉真空烘箱 圖像反轉氨氣爐

      簡要描述:

      反轉真空烘箱 圖像反轉氨氣爐用于鈑金加熱、淬火、退火、焊接等工藝;在電子制造業中,可以用于半導體器件制造中的退火和腐蝕等工藝;在航空航天制造業中,可以用于航空發動機和航天器材料的熱處理等。

      反轉真空烘箱 圖像反轉氨氣爐用途


         圖像反轉(image inversion)是一種使用正膠暗場掩模版做出島區的工藝。

      曝光小尺寸圖形時,傾向于使用正膠。正膠適于使用暗場掩模版做孔洞。暗場掩模版大部分被覆蓋,因為鉻不會像玻璃一樣易損,所以缺陷比拋光較少。然而,一些掩模版用來曝光島區。而不是孔洞,比如金屬層掩模版上是島區圖形。

      在曝光結束后,光刻膠里的圖像與想要得到的圖像是相反的,也就是說,如果拋光接著顯影的話,會得到孔洞而不是島區。

      反轉真空烘箱 圖像反轉氨氣爐性能

      尺寸(可定制)

      300×300×300(mm)

      450×450×450(mm),可定制

        材質

      內箱采用SUS304不銹鋼,外箱采用優質冷軋板靜電噴塑

      溫度范圍

      RT+50-200℃

      溫度分辨率

      0.1℃

      溫度波動度

      ≤±1℃

      操作模式

      人機界面

      升溫速率

      ≤5℃/min

      氣體

      2路供氣

      真空度

      0.1~100KPa


      圖像反轉系統 Lmage inversion Oven

             已經在很多領域得到了廣泛應用。比如,在汽車制造業中,可以用于鈑金加熱、淬火、退火、焊接等工藝;在電子制造業中,可以用于半導體器件制造中的退火和腐蝕等工藝;在航空航天制造業中,可以用于航空發動機和航天器材料的熱處理等。


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