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      反轉(zhuǎn)真空烘箱  圖像反轉(zhuǎn)氨氣爐

      反轉(zhuǎn)真空烘箱 圖像反轉(zhuǎn)氨氣爐

      簡(jiǎn)要描述:

      反轉(zhuǎn)真空烘箱 圖像反轉(zhuǎn)氨氣爐用于鈑金加熱、淬火、退火、焊接等工藝;在電子制造業(yè)中,可以用于半導(dǎo)體器件制造中的退火和腐蝕等工藝;在航空航天制造業(yè)中,可以用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)和航天器材料的熱處理等。

      反轉(zhuǎn)真空烘箱 圖像反轉(zhuǎn)氨氣爐用途


         圖像反轉(zhuǎn)(image inversion)是一種使用正膠暗場(chǎng)掩模版做出島區(qū)的工藝。

      曝光小尺寸圖形時(shí),傾向于使用正膠。正膠適于使用暗場(chǎng)掩模版做孔洞。暗場(chǎng)掩模版大部分被覆蓋,因?yàn)殂t不會(huì)像玻璃一樣易損,所以缺陷比拋光較少。然而,一些掩模版用來(lái)曝光島區(qū)。而不是孔洞,比如金屬層掩模版上是島區(qū)圖形。

      在曝光結(jié)束后,光刻膠里的圖像與想要得到的圖像是相反的,也就是說(shuō),如果拋光接著顯影的話,會(huì)得到孔洞而不是島區(qū)。

      反轉(zhuǎn)真空烘箱 圖像反轉(zhuǎn)氨氣爐性能

      尺寸(可定制)

      300×300×300(mm)

      450×450×450(mm),可定制

        材質(zhì)

      內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑

      溫度范圍

      RT+50-200℃

      溫度分辨率

      0.1℃

      溫度波動(dòng)度

      ≤±1℃

      操作模式

      人機(jī)界面

      升溫速率

      ≤5℃/min

      氣體

      2路供氣

      真空度

      0.1~100KPa


      圖像反轉(zhuǎn)系統(tǒng) Lmage inversion Oven

             已經(jīng)在很多領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。比如,在汽車(chē)制造業(yè)中,可以用于鈑金加熱、淬火、退火、焊接等工藝;在電子制造業(yè)中,可以用于半導(dǎo)體器件制造中的退火和腐蝕等工藝;在航空航天制造業(yè)中,可以用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)和航天器材料的熱處理等。


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