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      HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱

      HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱

      簡要描述:

      HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱可快速、均勻、經濟高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對晶圓表面進行底漆處理,從而改善光刻膠的附著力。

      HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱用途

        二合一真空腔體帶來更低的成本、更高的效率和更可靠的工藝。的溫控、工藝時間和腔體尺寸控制系統讓您用更少的化學品,實現對沉積過程環境的掌控。

         智能型HMDS真空系統可快速、均勻、經濟高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對晶圓表面進行底漆處理,從而改善光刻膠的附著力。

      有效的光刻膠處理是后續所有工藝步驟的基礎,只有被處理的表面才能準確復制,避免蝕刻不足或邊緣粗糙。JS-HMDS系列真空系統可脫水晶圓,使HMDS 層附著力更強,即使暴露于大氣濕氣數周也能保持穩定。

      智能型HMDS真空系統 HMDS預處理系統特點

      通過使用六甲基二硅氮烷(HMDS)對晶圓表面進行快速、均勻、且成本效益高的硅烷化處理,有效增強了與光刻膠的粘合性。

      真空鍍膜技術能脫水晶圓,確保了更強的粘接強度。

      即便長時間暴露于潮濕的空氣中,HMDS層也能維持其穩定性。

      我們的控制系統支持用戶根據需要選擇溫度、處理時長及腔室尺寸。

      此外,我們的技術還能降低化學物品的使用量和成本,實現經濟效益。

      通過工藝處理,達到圖像反轉效果,解決了圖像反轉光刻膠的復雜性。

      HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱參數

      設備型號:JS-HMDS90AI                       

      工作室尺寸(mm): 450×450×450,650*650*650,可自定
      材質:外箱采用優質冷軋板噴塑或不銹鋼,內箱采用316L級不銹鋼
      溫度范圍:RT+10-200℃ 
      溫度分辨率:0.1℃
      溫度波動度:≤±0.5
      真空度:1torr
      潔凈度:設備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環境
      控制儀表:人機界面
      擱板層數:2層
      HMDS控制:可控制HMDS藥夜添加量
      真空泵:旋片式油泵或干泵
      保護裝置:HMDS藥液泄漏報警裝置,HMDS自動添加,超溫保護,漏電保護,過熱保護


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