• <dl id="sqkkc"></dl>
  • <dl id="sqkkc"><acronym id="sqkkc"></acronym></dl>
    <bdo id="sqkkc"></bdo>
    <code id="sqkkc"><xmp id="sqkkc"></xmp></code>
    <code id="sqkkc"><tr id="sqkkc"></tr></code>
  • <li id="sqkkc"></li>
  • <code id="sqkkc"></code>
  • <bdo id="sqkkc"></bdo>
    • 產品中心您的位置:網站首頁 > 產品中心 > HMDS烘箱 > HMDS預處理烘箱 > JS光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱
      光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱

      光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱

      簡要描述:

      光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱就是涂膠前要進行增粘處理。由于襯底表面吸水特性,使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結合良好。未經過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。

      光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱的作用

        電池片制備是光伏電池片生產中的核心環(huán)節(jié),主要包括光刻、擴散、沉積和金屬化等工藝步驟

      1.光刻:光刻工藝主要利用光刻膠和掩膜將所需的電極圖案投影到硅片表面,并通過曝光和顯影等過程形成圖案。

      2.擴散:擴散工藝通過高溫將摻雜物(如磷或硼)注入硅片中,形成PN結構,從而使其具有正負電荷分離的能力。

      3.沉積:沉積工藝主要是在硅片表面進行氧化、硝化或硫化等處理,形成適當的電池片表面結構和保護層

      4.金屬化:金屬化工藝將電極材料(如鋁或銀)通過蒸鍍、濺射或印刷等方法沉積在電池片表面作為電流收集和傳輸的導體。

          光刻中第一步需要表面預處理,就是涂膠前要進行增粘處理。由于襯底表面吸水特性,使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結合良好。未經過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。

      光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱技術參數

      主要方法:氣相沉積

      工藝步驟:HMDS烘箱在高溫條件下,達到真空狀態(tài)后開始涂布工藝,涂布完成后烘箱內部充入N2,排出尾氣,達到常壓后方可開門。

      溫度范圍:RT+10-200℃

      真空度:≤1torr

      控制儀表:人機界面,自動運行

      儲液瓶:標配 

      真空泵:無油渦旋真空泵

      數據處理:多個工藝方案,可修改并記錄,使用數據可記錄

      保護裝置: 低液位報警,HMDS藥液泄漏報&警,超溫保護并斷開加熱,漏電保護,過流保護等


      COPYRIGHT @ 2016 網站地圖    滬ICP備16022591號-1   

      上海雋思實驗儀器有限公司主要經營優(yōu)質的光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱等,歡迎來電咨詢光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預處理烘箱詳細資料等信息
      地址:上海奉賢臨海工業(yè)園區(qū)818號
      伊人久久大香线蕉无码| 久久大香线蕉综合爱| 亚洲伊人久久大香线蕉影院| 久久久久久国产精品美女 | 99精品久久99久久久久| 久久久久无码专区亚洲av| 久久久久久精品成人免费图片 | 久久免费视频99| 一区二区精品久久| 久久人人爽人人爽人人片av麻烦 | 国产成人精品久久一区二区三区av | 久久精品人人做人人爽电影蜜月| 狠狠精品久久久无码中文字幕| 亚洲一区二区久久| 亚洲va久久久噜噜噜久久天堂| 亚洲综合久久夜AV | 亚洲精品无码久久久久APP| 色偷偷偷久久伊人大杳蕉| 亚洲人成网亚洲欧洲无码久久| 青青草91久久国产频道| 国产91色综合久久免费| 日韩av无码久久精品免费| 久久99国产精品一区二区| 精品久久久久久无码人妻蜜桃| 久久精品国产亚洲av天美18| 亚洲精品成人久久| 久久成人免费电影| 国产三级久久久精品麻豆三级| 伊人色综合久久天天网| 久久天堂AV女色优精品| 久久综合亚洲鲁鲁五月天| 久久4k岛国高清一区二区| 国产成年无码久久久久毛片| 一本久久a久久精品vr综合| 久久人人超碰精品CAOPOREN| 一本色道久久88| 一本久道久久综合狠狠躁AV| 久久天堂AV女色优精品| 狠狠色丁香婷婷久久综合| 97热久久免费频精品99| 久久久久久久女国产乱让韩|