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      堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱 工業烘箱

      堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱 工業烘箱

      簡要描述:

      堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷(如針孑L)因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。

      堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱

         堅膜烘箱的作用是在一定的溫度下,對顯影后的襯底進行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。

      堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱技術性能:     

      溫度范圍:RT~250℃;
      均勻度:±2%℃;    

      溫度波動度:±0.5℃(空載)        
      溫控精度:±0.1℃;   

      潔凈度:Class100; 

      計時范圍:99H99M;   

      氣體氛圍:N2;

      內部尺寸(mm):

      450×450×450

      500×500×550

      600×700×800(可定制)        
      電源:380v , 50Hz   

      網板:2-4只(高度可調節)

      可擴展功能:

      雙腔體或多腔體

      智能聯網功能,MES等工業自動化軟件

      掃碼槍,掃碼溯源,一鍵讀取

      自動門控,上位機程控,機械手搬運產品



        堅膜烘箱也可用于半導體制造中硅片、砷化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

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      上海雋思實驗儀器有限公司主要經營優質的堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱 工業烘箱等,歡迎來電咨詢堅膜烘箱,氮氣堅膜烤箱 工業烘箱詳細資料等信息
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