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      真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱 工業(yè)烘箱

      真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱 工業(yè)烘箱

      簡要描述:

      真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合前鍵合材料的真空處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。

       真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱簡介:

         真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱是一種定制真空烤箱。將高純度氮氣充入烤箱內(nèi)部,從而置換腔內(nèi)空氣降低氧濃度,來防止部分物料在高溫環(huán)境下加速氧化的現(xiàn)象。烤箱抽取真空后,充入氮氣,再抽取真空,多次循環(huán)后可以確保烤箱的工作室處于無氧的狀態(tài),避免活性較強的物料在高溫有氧的環(huán)境下被氧化而損壞。

         無氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合前鍵合材料的真空處理ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。廣泛應(yīng)用于半導體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè),適用于工廠、高等院校、科研等場所。

      真空無氧烘箱,無氧化真空烤箱技術(shù)指標:

      工作室尺寸(mm)

      450×450×450,600×600×600,可定制

      箱體材質(zhì)

      內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑或不銹鋼

      溫度范圍

      RT+10-300/400/500℃ 

      溫度分辨率

      0.1℃

      溫度波動度

      ≤±1℃

      升溫速率

      5℃/min

      降溫速率

      特殊要求數(shù)據(jù)

      真空度

      ≤133pa或要求數(shù)據(jù)

      電源

      AC220V、 380V±10% / 50HZ        

      控制儀表

      人機界面,可校準溫度控制器,PID自整定等功能

      擱板層數(shù)

      不銹鋼托盤2層或多層

      真空泵

      油泵/干泵自選

      腔門密封圈

      采用耐高溫硅橡膠密封圈

      狀態(tài)指示燈

      配有三色指示燈及蜂鳴器來提示機臺運行狀態(tài)

      氧含量

      20PPM,可檢測,實時顯示

      潔凈度

      Class100、1000級

      降溫系統(tǒng)

      風冷+水冷

      氮氣控制

      可程序自動控制

      安全保護裝置

      安全的接地保護裝置,超溫保護及報警裝置,漏電保護裝置

       

             上海雋思儀器 專為半導體生產(chǎn)烘烤制程設(shè)備定做服務(wù),無氧烤箱,真空無氧化烤箱,無氧真空烘箱,無塵烤箱,無塵無氧烤箱,真空無氧固化烤箱,PI烤箱,潔凈烘箱,氮氣烤箱,隧道烘爐,HMDS真空烤箱等。

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