晶圓百級潔凈烤箱，可編程潔凈烘箱概述

晶圓百級潔凈烤箱，可編程潔凈烘箱一種采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100的潔凈烘箱

特點

Ø  在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100；

Ø  全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

Ø  采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

Ø  強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到預(yù)定溫度控制精度。

配件

Ø  高性能程序控制器PF900 TOPPAGE

a)   一目了然、直觀的顯示 

b)   搭載了新的控制算法「RSS(升降溫?恒溫?穩(wěn)定)」 

c)   程序程式輸出功能(多3點) 

d)   大容量 多1024段程序 

e)   雙模式信號輸出 

f)   對應(yīng)各種狀況(程式終止?fàn)顟B(tài)、等待判斷等) 

g)   綜合管理大量的設(shè)定值，存儲組功能 

h)   程序聯(lián)合運行功能(控制器間的通信) 

i)   前面板接口通信+程序設(shè)定工具 

Ø  耐高溫高效空氣過濾器(HEPA)

a)   特點：效率高、阻力低、容塵量大；

b)   外框材質(zhì)：不銹鋼;

c)   材料：超細(xì)玻璃纖維濾紙;

d)   隔板：鋁箔;

e)   過濾效率：≥99.99%;

f)   顯示直觀，操作簡單