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      HMDS Coater(HMDS 涂布機)使用范圍

      更新時間:2022-02-12   點擊次數:3682次

      HMDS Coater(HMDS 涂布機)用途:

         HMDS Coater是通過對箱體內預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

      HMDS Coater(HMDS 涂布機)技術指標:


      1、設備名稱

      HMDS Coater(HMDS 涂布機)

      2、設備型號

       JS-HMDS90-AI/MES

      3、設備主要技術參數                                                          

      3.1 尺寸*寬*高

      內腔尺寸:350×350×350/450×450×450(mm)可定制


      3.2 材質

      外箱采用優質冷軋板噴塑,內箱采用316L醫用級不銹鋼

      3.3 溫度使用范圍

      80-200℃

      3.4 溫度分辨率

      0.1℃

      3.5 溫度波動度

      ±0.5

      3.6 真空度

      133pa(1torr)

      3.7 潔凈度

      設備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環境

      3.8電源及總功率

      AC 220V±10% / 50HZ       總功率約3.5KW    

      3.9 控制儀表

      人機界面

      3.10擱板層數

      2層

      3.11 HMDS控制

      可控制HMDS藥液添加量

      3.12真空泵

      無油渦旋真空泵

      3.13 保護裝置

      HMDS藥液泄漏報警裝置,HMDS低液位報警提示,超溫保護,漏電保護等。


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