• <dl id="sqkkc"></dl>
  • <dl id="sqkkc"><acronym id="sqkkc"></acronym></dl>
    <bdo id="sqkkc"></bdo>
    <code id="sqkkc"><xmp id="sqkkc"></xmp></code>
    <code id="sqkkc"><tr id="sqkkc"></tr></code>
  • <li id="sqkkc"></li>
  • <code id="sqkkc"></code>
  • <bdo id="sqkkc"></bdo>
    • 技術文章您的位置:網站首頁 >技術文章 > 曝光后烤膠臺/潔凈烘箱PEB烘烤的目的

      曝光后烤膠臺/潔凈烘箱PEB烘烤的目的

      更新時間:2024-12-17   點擊次數:692次
        光刻膠在曝光完成后,光刻膠需要經過再一次烘烤,因為這次烘烤在曝光后,所以稱為“曝光后烘烤”,簡稱后烘或堅膜,英文為Post Exposure Bake(PEB)。
       
        曝光后烤膠臺/潔凈烘箱PEB烘烤的目的--通過加熱的方式,使得光化學反應能夠充分完成。
       
        對于酚醛樹脂體系的光刻膠,PEB可以擴散感光劑以消除駐波效應。并且,PEB溫度不同時,感光劑的擴散距離不同,消除駐波的效果也不一樣。PEB在110度時,消除駐波效應明顯。
       
        對于化學放大型光刻膠,在后烘過程中,光酸起到催化光刻膠樹脂的去保護反應(Deprotection Reaction),又稱為脫保護反應。
        大量實驗表明,烤膠臺烘烤溫度的起伏是影響線寬均勻性的主要因素之一。在設置后烘工藝時, 對熱盤溫度均勻性的要求一般比軟烘的要求更高。
       
        烤膠臺/潔凈烘箱PEB烘烤性能
       
        智能型烤膠機
       
        加熱尺寸:220*220mm(可定制),適用于Ø200毫米(8英寸)圓片或200x 200毫米方片以下尺寸產品;
       
        溫度范圍:RT~300°C
       
        溫度精度:0.1°C;
       
        溫度均勻性:≤±0.5℃;
       
        電動頂針調節高度: 0~30mm;
       
        加熱臺表面:耐腐蝕硬質陽極氧化鋁制成;
       
        控制器單元:7寸全彩觸摸屏,高級PLC控制,實現在特定時間內自動升降,可以定時取片;
       
        潔凈烘箱
       
        無塵等級:Class100;
       
        溫度范圍:RT~300/450℃;
       
        溫度均勻度:200℃±3℃;
       
        溫度波動度:±0.5℃(空載)
       
        工作尺寸(mm):
       
        450×450×450
       
        500×500×500
       
        600×700×800(可定制)
       
        可擴展功能:
       
        氧濃度檢測,無塵無氧烘箱
       
        智能聯網功能,MES等工業自動化軟件
       
        掃碼槍,掃碼溯源,一鍵讀取
       
        自動門控,上位機程控,機械手搬運產品
       

      分享到:

      返回列表返回頂部
      COPYRIGHT @ 2016 網站地圖    滬ICP備16022591號-1   

      上海雋思實驗儀器有限公司主營產品:無氧化烘箱,精密熱風烘箱,晶元烘箱,百級氮氣烤箱,無氧烤箱
      地址:上海奉賢臨海工業園區818號

      環保在線

      推薦收藏該企業網站
      囯产精品久久久久久久久久妞妞| 国产亚洲精久久久久久无码77777| 久久精品国产成人AV| 精品久久久无码人妻字幂| 色婷婷综合久久久久中文一区二区 | 色偷偷人人澡久久超碰97| 久久精品国产亚洲av四虎| 亚洲欧洲久久av| 久久躁狠狠躁夜夜AV| 久久精品夜夜夜夜夜久久| 国产精品无码久久综合 | 亚洲天堂久久精品| 国产成人无码精品久久久性色| 精品国产精品久久一区免费式| 久久国产真实乱对白| 无码国内精品久久人妻蜜桃| 久久国产精品一区二区| 久久久久这里只有精品| 久久久久久极精品久久久| 精品久久久久久久99热| 久久久久久久波多野结衣高潮| 久久久久久中文字幕| 美女写真久久影院| 国产精品一久久香蕉国产线看观看| 国产福利电影一区二区三区久久老子无码午夜伦不 | 亚洲国产小视频精品久久久三级 | 亚洲综合精品香蕉久久网| 一本久道久久综合多人| 久久久久久亚洲av无码蜜芽| 久久久久久精品免费免费自慰| 无码久久精品国产亚洲Av影片 | 国产欧美日韩久久久久| 亚洲国产成人久久| 97久久精品亚洲中文字幕无码| 99久久一香蕉国产线看观看| 久久久噜噜噜久久网| 久久婷婷成人综合色| a级亚洲片精品久久久久久久| 99久久精品国内| 伊人久久精品亚洲午夜| 奇米影视7777久久精品人人爽 |