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      選擇HMDS烘箱注意事項

      更新時間:2022-04-13   點擊次數:1289次
      1. 選擇HMDS烘箱的容積

        內腔尺寸:450*450*450mm,1-8寸片均適用,4寸晶圓可處理200P/次;

      2. HMDS烘箱真空泵的選擇

        根據腔體容積,選配合適型號的真空泵。常用渦旋式真空泵又分為油泵和干泵。


      ◆ 全無油泵,不會污染真空系統
      ◆ 采用獨立馬達與軸承的密封設計
      ◆ 體積小巧 
      ◆ 具有更低的極限壓強
      ◆ 無任何可能造成災害性系統故障的機械部件

      ◆ 低噪聲,低振動

      3.HMDS烘箱輔助功能選擇:

      ◆HMDS藥液泄漏報警提示功能

      ◆HMDS低液位報警提示功能

      ◆工藝數據記錄功能

      ◆藥液管道預熱功能 

      程序鎖定保護等功能


         HMDS烘箱有稱為智能型HMDS真空系統通過對箱體內預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。


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